晶圆防爆真空固化炉

品牌：英鹏

型号：ZK-固化系列

价格：电仪/面议

产品用途：

    本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的设备，烘箱温度**可达450℃

性能特点：

  1.真空度可达10 Pa

  2.精体内氧含量：≤20ppm,提供氧含量检测接口

  3.日本优易控触摸屏，升降温斜率控制

  4.内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作

型号  ： ZK-固化系列                                 

内箱尺寸（H*W*D)  ：  20*20*40                    30*30*60

控温范围：RT+20℃~450℃

温度波动：±0.5℃

真  空 度：10pa

氧  含  量：≤20ppm

内箱材质：SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate

外箱材质： 钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel

保温材料：硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton

保护装置：声光报警器 超温?；て?Audible and visual alarm, Over Temp

功       率:   9.0    12.0

电       源　：　AC380V±10%3中50HZ