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广州广电计量检测股份股份有限公司
主营:环境可靠性测试; NVH测试; AECQ100认证; AECQ200认证; AECQ101认证; AECQ102认证; 液态温冲测试; DO-160测试; 振动噪音测试; 异响测试; 六性设计与分析; 元器件筛选; 破坏性物理分析; 失效分析; 
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聚焦离子束(FIB)的具体应用与发展

2021年05月04日举报编辑打印
聚焦离子束(FIB)的具体应用与发展
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区域: 广东 广州 天河区
关键词:
FIB测试  FIB  聚焦离子束  
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详细介绍

广电计量可以做AEC-Q-100认证报告,AEC-Q-101认证报告,AEC-Q-102认证报告, AEC-Q-104认证报告,AEC-Q-200认证报告,元器件筛选,破坏性物理分析,NVH测试

广州广电计量检测股份有限公司(股票简称:广电计量,股票代码:002967)始建于1964,是原信息产业部电子602计量站,经过50余年的发展,现已成为一家全国化、综合性的国有第三方计量检测机构,专注于为客户提供计量、检测、认证以及技术咨询与培训等专业技术服务,在计量校准、可靠性与环境试验、电磁兼容检测等多个领域的技术能力及业务规模处于国内**水平.

1、聚焦离子束技术(FIB

聚焦离子束技术Focused Ion beamFIB)是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面,实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的发展,纳米尺度制造业发展迅速,而纳米加工就是纳米制造业的核心部分,纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束技术FIB)利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工,配合扫描电镜(SEM)等高倍数电子显微镜实时观察,成为了纳米级分析、制造的主要方法。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、离子注入、切割和故障分析等

2. 聚焦离子束技术(FIB)可为客户解决的产品质量问题

1)在IC生产工艺中,发现微区电路蚀刻有错误,可利用FIB的切割,断开原来的电路,再使用定区域喷金,搭接到其他电路上,实现电路修改,**精度可达5nm

2)产品表面存在微纳米级缺陷,如异物、腐蚀、氧化等问题,需观察缺陷与基材的界面情况,利用FIB就可以准确定位切割,制备缺陷位置截面样品,再利用SEM观察界面情况。

3)微米级尺寸的样品,经过表面处理形成薄膜,需要观察薄膜的结构、与基材的结合程度,可利用FIB切割制样,再使用SEM观察。

3. 聚焦离子束技术(FIB)注意事项

1)样品大小5×5×1cm,当样品过大需切割取样。

2)样品需导电,不导电样品必须能喷金增加导电性。

3)切割深度必须小于50微米。

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