位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、自整角机、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。
模拟量和数字量为当前主流的两款 输出形式.
数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统。这种传感器发展迅速，应用日益广泛。
传感器 851S001、851S003、851S005、851S007 （轴向电缆）
传感器 851S002、851S004、851S006、851S008 （径向电缆）
A型 弹簧推动
B型 真空提升
C型气压驱动波纹管密封
D型气压驱动,气隙密封
851S001A/00/00**/007A
851S002B/004B/006B/008B
851S001C/003C/005C/007C
851S002D/004D/006D/008D
851S002A/004A/006A/008A
851S001B/003B/005B/007B
851S002C/004/C006C/008C
851S001D/003D/005D/007D
技术参数- 相同参数
**行程
4.6mm
测量行程
±2mm
支撑方式
球轴承
测头旋转
全行程1°
温度范围
－10°C～65°C,使用/存放温度
安装位置
任意
主体直径
Φ8h6
电缆
聚亚安脂（PUR）,长2m
插头
5线,270°
重复精度
0.01um
维修
可修理,可拆单元
测头
Φ3mm硬质合金球,M2.5螺纹连接,可更换
线圈型式
851S001、851S002
半桥式
851S003、851S004
全桥式（LVDT）
851S005、851S006
全桥式（LVDT）与Marposs兼容
851S007、851S008
Mahr兼容
驱动频率
851S001、851S002
13kHz±5%
供电电压
851S001、851S002
3V±0.5％RMS
851S003、851S004
5kHz±5%
851S003、851S004
3V±0.5％RMS
851S005、851S006
7.5kHz±5%
851S005、851S006
3V±0.5％RMS
851S007、851S008
20kHz±5%
851S007、851S008
5V±0.5％RMS
灵敏度
851S001、851S002
73.75±0.15mV/（V?mm） （输入电阻R=2KΩ±0.1％）
851S003、851S004
150mV/（V?mm） （输入电阻R=100KΩ）
851S005、851S006
210mV/（V?mm） （输入电阻R=100KΩ）
851S007、851S008
184mV/（V?mm） （输入电阻为正常阻抗）
线性误差
851S001、851S002
0.25％FS±1000um 范围（20°C±1°C）
851S003、851S004
0.25％FS±1000um 范围（20°C±1°C）
851S005、851S006
0.25％FS±1000um 范围（20°C±1°C）
851S007、851S008
0.3％FS±1000um 范围（20°C±1°C）
不同参数
型号
A型
B型
C型
D型
预行程 / 默认设置
可调 / -1.2mm
可调 / -1.2mm
可调 / +2.8mm
可调 / +2.8mm
寿命
大于1000万次
大于1000万次
――
大于1000万次
防护套
FPM/FKM（氟橡胶）
FPM/FKM（氟橡胶）
FPM/FKM（氟橡胶）
――
提升 / 驱动
无
真空提升
气压驱动
气压驱动
**压力
――
――
2.0bar
6.0bar
传感器851S009（轴向电缆）/851S010（径向电缆）
概述
A型 弹簧推动
B型 真空提升
C型气压驱动,波纹管密封
D型气压驱动,气隙密封
851S009A
851S010A
851S010B
851S010C
851S010D
技术参数-相同参数
**行程
2.5mm
测量行程
±1mm
支撑方式
球轴承
测头旋转
全行程1°
温度范围
－10°C～65°C,使用/存放温度
安装位置
任意
主体直径
Φ8h6
电缆
聚亚安脂（PUR）,长2m
插头
5线,270°
重复精度
0.02um
驱动频率
13kHz±5%
供电电压
3V±0.5％RMS
线圈型式
半桥式
线性误差
0.6％FS±1000um 范围（20°C±1°C）
测头
Φ2mm硬质合金球,不可更换
预行程
不可调
灵敏度
73.75±0.15mV/（V?mm） （输入电阻R=2KΩ±0.1％）
不同参数
型号
A型
B型
C型
D型
寿命
大于1000万次
大于1000万次
――
大于1000万次
防护套
FPM/FKM（氟橡胶）
FPM/FKM（氟橡胶）
FPM/FKM（氟橡胶）
――
提升 / 驱动
无
真空提升
气压驱动
气压驱动
**压力
――
――
1.**r
6.0bar
测量力
0.4N±50％（电位零点）
0.4N±50％（电位零点）
0.6bar时,0.6N；0.8 bar时,1N（电位零）
0.8bar时,0.6N；1.1 bar时,1N（电位零）
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