蔡司X射线显微镜采用几何+光学两级放大技术，可实现大样品高分辨率

另外一方面通过光学物镜和薄的闪烁体耦合技术解决了高衬度成像问题，解决了很多材料样品尤其大尺度和对衬度要求高样品成像困难的问题。对样品尺寸和成像衬度的突破为材料科学研究领域的研究开辟一条新的研究途径。

新的蔡司X射线显微镜三维成像系统改变了传统微米CT单一几何投影放大的设计架构，将光学物镜巧妙的应用到了X射线成像系统中，利用几何放大和光学放大两级放大技术进行成像。这样的全新设计架构一方面解决了传统工业CT无法实现的大样品高分辨率成像的问题，使得系统的成像分辨率不像传统CT一样局限于非常小的样品。

薄的闪烁体和光学物镜耦合技术可提供更高的成像衬度

随着该设备的普及和应用，蔡司X射线显微镜技术为科学研究和工业检测领域做出了巨大的贡献。目前该设备已经广泛的应用在材料学、地球科学、生命科学以及工业和电子半导体检测领域。

同时使用该设备还产生了大量的科研成果。根据Google Scholar数据统计，使用蔡司X射线显微镜在各大国际期刊发表文献数量呈急速上升趋势。仅2019年科研人员使用蔡司X射线显微镜在国际期刊发表文章达800余篇，其中不乏Nature、Advanced Materials、PNAS等期刊。