详细介绍
低温泵又叫低温真空泵、冷泵、冷凝泵。低温泵的冷源可以是低温液体（液氮或液氦），也可以是低温制冷机。这里介绍制冷机型低温泵，这种低温泵的制冷机在两个温度级上产生制冷，分别冷却两个低温表面，被抽的气体就被冷却在低温表面上。制冷机的通常工作在 范围，它用来冷却靠外的冷板，这个外部冷板既为 冷的冷板充当防辐射的 ，同时用来冷却挡在泵入口处的百叶窗（障板），当水蒸汽碰到障板上时就被冷冻在它上面，这极像液氮冷阱冷冻水蒸气的情形。制冷机的二级，即 冷的，通常工作在用来冷却靠内的冷板，它冷冻穿过百叶窗的。不能被这一温度冷冻的气体被位于冷板内部的活性炭吸附。
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