在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度评价。

等离子废气净化器又称为低温等离子废气净化器、等离子废气处理设备，等离子废气净化器是一种用应于有机废气处理的环保设备，具有阻力小，操作简单等特点，等离子废气处理设备广泛适用于工厂各种低浓度的有机废气处理。