低温蒸汽甲醛灭菌器采用包含2%甲醛、3%酒精和95%蒸馏水的溶液作为灭菌剂。在低温负压下甲醛和水蒸汽的混合气体穿透到物品内部，甲醛分子直接作用于细菌的蛋白质分子上的氨基（NH2），硫氢基（SH），羧基（COOH），烴基（OH），生成次甲基衍生物，从而破坏细菌的蛋白质（尤其是酶 ），导致微生物的死亡。所以广泛应用于**、卫生等部门，用于对**高分子材料、**电子仪器、光学仪器、卫生材料、**等畏热畏湿物品进行灭菌处理。