AIXTRON颗粒过滤器  K465i高温滤芯

MOCVD尾气处理滤芯K465i耐高温滤筒 该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒； 2只/组（粗滤、细滤） 组成材料： 1、滤材： 耐高温玻纤滤料 2、支撑材料：双面304#不锈钢金属网 3、骨架：304#不锈钢菱形网 4、密封垫圈：硅发泡橡胶垫片 5、密封胶：硅橡胶 

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