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加工范围 X/Y轴定位精度 重复精度 激光功率 激光波长 切割深度（max） 典型加工线宽 电力需求 消耗功率 定位方式 |
300mm×300mm ±3μm ±1μm 5W/8W/20W 355nm 1mm 100μm 单相交流220V/50Hz 5KW CCD定位 |
设备简介
主要包括：精密工作台、数控系统、CCD定位系统、真空吸附系统、烟粉尘收集及净化系统、激光源、软件等主要部件组成。主要应用于蓝宝石、玻璃等易碎材料的切割、裂片、划线等加工。
TOL-MC5 蓝宝石晶圆激光微加工系统设备产品特征
1、高切割品质
采用超快激光器作为光源，热效应区域小，切缝窄，切边光滑，有效降低微裂纹。
2、成品率
属于非接触式切割，无应力，解决了传统机械式切割中材料极易脆裂的问题。
3、高工作效率
超快的激光切割较其他机械加工方式而言，加工效率高，同时可以改善加工制程。
4、加工自动化
自动定位加工，无需人工干涉，减低人员耗损。
5、低使用成本
一次性投入后，后期无需要更换刀具，无耗材、操作简单方便。使用成本低。
TOL-MC5蓝宝石晶圆激光微加工系统应用领域
此设备主要应用于各种玻璃、蓝宝石晶圆、蓝玻璃、硅片的打孔、划线、裂片和切割加工。
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