晶片规格：
2-8〞单、双cassette

主要材料:
金属骨架+PP/PVC/SUS304壳体，槽体材质PP/PVDF/PTFE/石英

工艺槽功能：
循环过滤+加热

基础工艺流程:
ACE→NMP→IPA→QDR

设备类型：
手动/半自动/全自动



Footprint : 1800 (W) x 1300 (D) x 2000(H) mm