工厂转让2台进口光弛真空电镀膜机

1：特征

真空室尺寸：Φ600-1800mm60点/80点式

光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源搭载双电子枪，

多点和环型坩埚可镀100层以上利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程工件架可选择钟罩式或行星式排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵OTFC-900CBI/DBI真空室SUS304,

2：规格

 φ900mm×1300mm (H)工件架φ 790mm工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变)光学膜厚控制HOM2-R-VIS3**光学膜厚监控仪波长范围：350nm to1100nm反射式/透射式可选水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器蒸发源电子枪2套离子源10cm RF 离子源排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold（或1个冷凝泵）

3：性能

达到压力7.0 × 10-5 Pa 以下排气时间15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa)基板温度**：350℃工作条件设备尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.电源3相,200v,50/60Hz, 约80KVA水流量180升/分以上空气压力0.5MPa 以上重量约5400kg 

1：特征

真空室尺寸：Φ600-1800mm60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程工件架可选择钟罩式或行星式排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵规格设备名称

2：规格

OTFC-1300CBI/DBI真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)工件架φ1130mm工件架转速10rpm to 50rpm(可变)光学膜厚控制HOM2-R-VIS3**光学膜厚监控仪

波长范围：350nm to 1100nm

反射式/透射式水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器蒸发源电子枪2套离子源17cmRF离子源排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）

3：性能

达到压力7.0×10-5 Pa 以下排气时间15分（大气压～1.3×10-3 Pa)基板温度**：350℃工作条件设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA水流量140升/分以上空气压力0.5MPa以上重量约8500kg