CL系列探针台，晶圆测试探针台

台体规格：

尺寸：4英寸/6英寸/8英寸

水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y移动行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸

X-Y移动精度：10微米/1微米

样品台Z轴调节：可升降10mm

样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台：U型针座平台，**多可放置6个探针座

背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

外形尺寸：400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高

重量：约40千克/60千克

光学系统：

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移动行程：X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm

光源：外置LED环形光源/同轴光源

CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

探针座

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm

移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

线缆：同轴线/三轴线

漏电精度：10pA/100fA/10fA

固定探针：弹簧固定/管状固定

接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

针尖材质：钨钢/铍铜

可选附件

加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、探针卡夹具。